无尘车间相对湿ξ度控制不好，就有可能使无尘车间总体表现下降，而且还会带来以下这些一系列的影响。
　　1、细菌生长。细菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。而相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响●以及呼吸道感染降至最低。所以无尘车间的相对湿度需要控制在一╳定范围。
　　2、相对湿度控制不好，容易造成无尘车间里的金属腐蚀。很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间周围空▓气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可↘以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。一些金属，例如铝，可以与水形成㊣一层保护型的氧化物，并阻止进一步》的氧化反应；另一种金属，例如氧化铜，是不具有保护能力的。在高湿度的环境中，铜制表面更容易受↑到腐蚀。
　　3、无尘︻车间相对湿度控制不好会出现静电荷。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速♂消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。东莞无尘车间相对』湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车〓间一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。
　　4、吸水性。相对湿度控制不好，对无尘车间吸水性产出一定的影响。
　　5、水汽冷凝。在相对湿度∏较高的无尘车间环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应称为凯尔文浓缩，就是当相对湿╲度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏〓附的主要力量。
　　6、无尘车间的湿度在40%至60%的范围同ξ　样也是人类感觉舒适的适度范围。如果东莞无卐尘车间湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道※不适以及情感上的不快，从而影响工作。
　　7、无尘车间光刻的退▓化。在半导体无尘车间中最迫切需卐要适度控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对Ψ 湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是最严格的。相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精确的尺寸▅控制都是很关键的。甚至是在恒⊙温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而∞迅速下降。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。
　　此外，在ζ　高的相对湿度环境下，由于【水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受○到较高的相对湿度的负面影响；较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附︽着更加容易，甚至不需要聚合改〖性剂，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。